2.0.1 洁净室及相关受控环境 cleanrooms and associated controlled environment
洁净室及其附属的、辅助的、相联系的开放或封闭的内部或周边空间,该空间的悬浮微粒浓度等参数也受到符合相关标准的控制。
2.0.2 单向流洁净室 unidirectional airflow cleanroom
由方向单一、流线平行并且速度均匀稳定的单向流流过房间工作区整个截面的洁净室。
2.0.3 非单向流洁净室 non-unidirectional airflow cleanroom
是指流线不平行、方向不单一、速度不均匀而且有交叉回旋的紊乱气流流过房间工作区整个截面的洁净室。亦称乱流洁净室。
2.0.4 混合流洁净室 mixed airflow cleanroom
同时分别存在单向流和非单向流两种气流流型的洁净室。
2.0.5 微粒 particle
悬浮在空气中的、固态的或液态的、活性的或非活性的物质,其粒径(对本标准而言)在10nm~100μm的范围。
2.0.6 气溶胶 aerosol
在空气中悬浮的微小固体或液体微粒的分散系。
2.0.7 生物气溶胶 bio-aerosol
散布于气态环境中的生物介质。
2.0.8 浮游菌 airborne bacteria
悬浮在空气中的带菌微粒。
2.0.9 沉降菌 scttlemental bacteria
降落在表面上的带菌微粒。
2.0.10 测试用气溶胶 test aerosol
呈气态悬浮的固体或液体的微粒,其粒径分布和浓度已知且受控。
2.0.11 泄漏 leak
空气过滤器系统因完整性不佳或有缺陷所引起的污染物透过,透过的污染物超过下风向浓度预计值。
2.0.12 检漏 leak test
找到过滤器和机组部件泄漏的方法,即使用气溶胶光度计或光学粒子计数器以相互重叠的扫描区域扫描通过测试区。
2.0.13 过滤器安装后泄漏测试 installed filter leakage test
为确认过滤器安装良好所进行的测试。测试时要验证设施没有旁路渗漏,过滤器及过滤器和安装框架间的密封面没有缺陷和泄漏。
2.0.14 静态 at-rest
全部建成且设施齐备,净化空调系统运行正常,现场没有人员。此时生产设备已安装完毕而未运行的洁净室状态;或生产设备停止运行并进行自净达到规定时间后的洁净室状态;或正在按建设方(用户)和施工方商定的方式运行的洁净室状态。是洁净室的三种占用状态(空态、静态、动态)之一。
2.0.15 高纯气体 ultrapure gas
气体成分纯度大于或等于99.9995%,含水量小于5ppm的气体。
2.0.16 纯化水 purity water (去离子水或深度脱盐水)
指温度25℃时,电阻率大于0.1×106Ω·cm的水。
2.0.17 高纯水(注射用水) ultrapure water
指温度25℃时,电阻率大于0.1×106Ω·cm,水中大于或等于0.5μm的尘粒小于300粒/mL,活微生物小于9个/mL的纯水。
2.0.18 大(宏)粒子 macroparticle
当量直径大于5μm的微粒。
2.0.19 超微粒子 ultrafine particle
当量直径小于0.1μm的微粒。
2.0.20 永久气体 permanent gas
临界温度低于-10℃的气体,如空气、氧、氮、氦、甲烷、一氧化碳等。
2.0.21 特种气体 special gas
为满足特定用途的气体,包括单一气体或混合气体。单一气体有259种,其中电子气体115种,有机气体63种,无机气体35种,卤碳素气体29种,同位素气体17种。
2.0.22 医用气体 medical gas
符合医疗相关规定要求,供治疗、诊断、预防等医学方面使用的气体。
2.0.23 洁净气体 clean gas
单位体积所含微粒的数量小于或等于使用此气体的洁净环境洁净度的常用气体。
2.0.24 分子态污染物 airborne molecular contamination,AMC
含在空气中的具有分子量级的污染物,如酸性气体、碱性气体、凝聚性有机物质、用于半导体的掺杂物、高挥发性有机物质和分子级的金属等。
3.1.1 洁净室结构工程施工前应编制施工组织设计或施工方案,并与洁净室施工配合。
3.1.2 在主体结构未经验收前,不得进行后续工序的施工。
3.2.1 装配式混凝土结构的洁净室,应在预制构件上按设计图纸预留孔、洞。
3.2.2 有耐压、防渗漏要求洁净室的混凝土施工应按设计要求采用抗渗混凝土,并应制定配合比操作程序,按相关要求先做试块的抗渗试验,浇筑后应分层捣实,加强养护管理。
3.2.3 洁净区内的现浇混凝土剪力墙模板不宜采用拼缝较多的组合钢模板,宜采用大尺寸硬木面层厚型胶合板。
3.2.4 对大面积洁净空间采用的结构模板,应分区设控制点,多级复核。应防止建筑模板受潮起拱。宜采用清水混凝土精细施工,应随捣随抹光,一次性达到建筑设计标高。模板的密封胶填缝与固定应同时进行,不得遗漏。
3.2.5 砌体施工质量控制等级应满足现行国家标准《砌体工程施工质量验收规范》GB 50203第3.0.10条的A级要求。
3.2.6 对分割洁净室相关受控环境的空间成为各自独立密封体到顶的填充墙,墙体(板)与梁、板底的缝隙应填充密实,并应作密封处理。
3.2.7 高大洁净空间内的钢结构施工应严格控制构件的尺寸偏差,对设计不要求留缝的节点,应在钢结构主体验收合格后用密封材料堵严。钢结构表面的防腐、防火涂料不得漏涂。
3.2.8 既有建筑改造为洁净室时,应对原有建筑进行结构验算,并应仔细检查原有结构,对原结构中出现的裂缝或缝隙应采取措施进行加固或密封。
3.3.1 结构施工应按分项工程施工工艺规程进行并验收。
3.3.2 结构施工应在地基基础、主体结构、二次结构完成后,进行分项验收。
3.3.3 结构施工分项验收应包括以下主控项目:
1 混凝土结构表面应平整、无裂缝、无麻面、无掉皮、无起沙。
检验方法:观察。
检验数量:全数检查。
2 填充墙应与周围结构严密接触。
检验方法:观察。
检验数量:全数检查。
3 暴露在洁净区内的钢构件表面防腐涂料应进行涂层附着力检测。
检验方法:按照现行国家标准《漆膜附着力测定法》GB 1720或《色漆和清漆、漆膜的划格试验》GB 9286执行。
检验数量:按构件数抽查2%,且不应少于3件,每件测3处。
4 暴露在洁净区内的钢结构防火涂料应抽检粘结强度、抗压强度,并应符合有关钢结构防火涂料应用技术规程的规定。
检验方法:检查复检报告或按现行国家标准《建筑构件防火喷涂材料性能试验方法》GB 9978的规定抽测。
检验数量:查阅全部测试报告或抽测不少于2次。
4.1.1 洁净室建筑装饰工程施工应在主体结构、屋面防水工程和外围护结构验收完成后进行。
4.1.2 洁净室建筑装饰施工应与其他工种制定明确的施工协作计划和施工程序。
4.1.3 洁净室的建筑装饰材料除应满足隔热、隔声、防振、防虫、防腐、防火、防静电等要求外,尚应保证洁净室的气密性和装饰表面不产尘、不吸尘、不积尘,并应易清洗。
4.1.4 洁净室不应使用木材和石膏板作为表面装饰材料。隐蔽使用的木材应经充分干燥并作防潮防腐和防火处理,石膏板应为防水石膏板。
4.1.5 洁净室建筑装饰工程施工应实行施工现场封闭清洁管理,在洁净施工区内进行粉尘作业时,应采取有效防止粉尘扩散的措施。
4.1.6 洁净室建筑装饰施工现场的环境温度不宜低于5℃。当在低于5℃的环境温度下施工时,应采取保证施工质量的措施。对有特殊要求的装饰工程,应按设计要求的温度施工。
4.2.1 地面施工应符合下列规定:
1 建筑底层的地面应设置防潮层。
2 当旧地面为涂料、树脂和PVC板时,应将原地面材料铲除,清理、打磨干净,再抹找平层,其混凝土强度等级不得小于C25。
3 地面必须采用耐腐蚀、耐磨和抗静电材料。
4 地面应平整。
4.2.2 现浇水磨石地面施工应符合下列规定:
1 基层混凝土层应加厚,宜加大分格尺寸,分格嵌缝条应采用不产尘、防静电和对生产工艺无危害的材料。
2 水磨石地面浇注的环境温度不应低于10℃。
3 水磨石地面的水泥强度等级不得低于42.5级,所用石子直径应为10mm~15mm;并应符合《普通混凝土用砂、石质量及检验方法标准》JGJ 52的规定。
4 地面与踢脚应连为一体。
5 地面磨光不应少于5遍,磨光后应使用草酸清洗干净,晾干后应用不易挥发的防静电的护面材料抛光,或用防静电的透明涂料罩光。
4.2.3 粘贴地面施工应符合下列规定:
1 粘贴塑料板材或卷材地面之前,应采用含水率测试仪(CCM仪)对基础地面进行现场测试。基础地面含水率应低于4%,当含水率在4%~7%之间时,应使用双组分胶粘贴地面材料。含水率不得超过7%。对含水率超过7%的基础地面,必须采取干燥措施,重测合格方可施工地面。旧有地面如有空鼓、脱皮、起砂、裂痕等应按要求处理,如为光滑地面,必须先打磨成粗糙面。
2 水泥类地面基底表面应平整、坚硬、干燥、密实,不得有起砂、起皱、麻面、裂缝等缺陷。
3 塑料板材或卷材地面铺贴前应预先按规格大小、厚薄分类。在粘贴板材或卷材时,板材或卷材与地面之间应满涂胶粘剂,不得漏涂。
4 应在粘贴地面材料4h后再做接缝焊接处理。
5 施工环境温度不应低于10℃,相对湿度不得大于80%。
4.2.4 涂布地面施工应符合下列规定:
1 涂布地面的基底表面必须清洗、脱脂干净,并应符合本规范第4.2.3条第1款的规定。
2 水泥砂浆基底的水泥强度等级不得低于42.5级,基底表面应干燥。
3 每次配料应在规定时间内用完,并作记录。
4 每间房间的涂布地面宜一次完成。
5 施工环境温度不宜低于20℃,相对湿度应低于85%。
4.2.5 架空地板施工应符合下列规定:
1 架空地板及其支撑结构,应符合设计要求。安装前应复核荷载检验报告,检查土建装饰面层的质量,复核标高、外形尺寸、开孔率与孔径。
2 架空地板下的静压箱,四壁表面不应产尘、开裂,并应符合防潮、防霉的要求。
3 架空地板施工前应设好基准点和基准边,由地面中间向两边延伸,整体误差应留在建筑周边调整。
4 架空地板上不应设置设备基础。
4.3.1 墙面施工应符合下列规定:
1 墙面施工应在完成基底打磨与清理的粉尘作业、现场清洁、表面涂界面剂和涂刷涂料后进行。
2 旧墙面应在基底清理干净后再涂界面剂,然后用腻子刮平。
3 对于送风和回风静压箱空间,暴露表面的钢筋混凝土宜采用清水混凝土。
4.3.2 瓷板墙面施工应符合下列规定:
1 应选用大尺寸直角边瓷板,其表面应乎整、洁净、色泽一致,无裂痕和缺损。
2 瓷板的基底应平整,瓷板与基底之间的浇注材料应饱满密实。
3 瓷板拼缝应乎直,宽度和深度应符合设计要求,设计未明确要求时,拼缝宽度不应大于1mm。
4 瓷板墙面的阴阳角应用弧形瓷条过渡。
5 瓷板上的孔洞应切割吻合、边缘整齐,并应密封。
6 瓷板嵌缝应用添加抑菌剂的中性密封胶嵌实。
4.3.3 涂料墙面施工应符合下列规定:
1 基底表面应打磨平整、清理干净,无浮尘。
2 涂料应具有耐水、耐磨和耐酸碱特性。当有防霉要求时,应在涂料中加入抑菌剂,按照现行国家标准《漆膜耐霉菌测定法》GB 1741的规定,进行人工施菌培养,并达到规定的要求。
4.3.4 金属夹心板墙面施工应符合下列规定:
1 装配式金属夹心板的钢板名义厚度不应小于0.5mm,与整体充填材料粘贴牢固、无空鼓、脱层和断裂。
2 金属夹心板墙面的内部充填材料应使用难燃或不燃材料,不得使用有机材料。
3 金属夹心板施工安装时,应首先进行吊挂件、锚固件等,与主体结构和楼面、地面的预设件固定。所有这些金属件都应作防腐、防锈处理。
4 金属夹心板安装前应严格画线、编号,墙角应垂直交接。
5 安装过程中不得剥离金属夹心板表面保护膜,不得撞击板面。
6 正压洁净室应在金属夹心板正压面用中性密封胶密封缝隙。当负压洁净室不能在负压面密封时,应在缝内嵌密封条挤紧,并应在室内面涂密封胶。
7 金属夹心板不宜在现场开洞。板上各类洞口应切割方正、边缘整齐,对其中的填充材料的切割边缘应用密封胶均匀镶嵌密封。
8 金属夹心板墙面的金属面与骨架之间应有导静电措施。
4.3.5 整体金属壁板墙面施工应符合下列规定:
1 支撑和加强龙骨架应位置正确,与墙面、地面、加强部位的连接应牢固。龙骨架及各种金属件均应作防腐、防锈处理。
2 金属面板与骨架的连接应留够面板间热胀冷缩的量。金属面板背面应贴绝热层,与骨架之间应有导静电措施。
3 对焊接、连接部位应作好防腐、防锈处理。
4 每间洁净室如需现场喷涂,每层喷涂应一次完成。
4.3.6 非金属面板墙面施工应符合下列规定:
1 非金属面板应符合建筑防火要求,材质的物理和化学性能必须符合现行国家标准《民用建筑工程室内环境污染控制规范》GB 50325的规定。
2 饰面板应色泽一致,板画应无裂缝、划痕、凹凸和褪色等缺陷。
3 非金属面板不应在土建墙上直接粘贴施工。
4 非金属面板施工时,应按材质要求预留伸缩缝。
4.3.7 卷材墙面施工应符合下列规定:
1 墙面基底应平整、干燥。
2 卷材应表面光洁,无缺陷,色泽一致。
3 应处理好和踢脚板及吊顶的连接。
4 卷材的粘贴、接缝、环境温湿度宜符合本规范第4.2.4条第5款的要求。
4.4.1 吊顶施工应符合下列规定:
1 吊顶施工应在完成基底打磨与清理的粉尘作业、现场清洁、表面涂界面剂和涂刷涂料后进行。
2 旧顶板应先将其基底清理干净后再涂界面剂,然后应用腻子刮平。
3 送风和回风静压箱空间,暴露表面的钢筋混凝土宜采用清水混凝土。
4.4.2 吊顶宜按房间宽度方向按设计要求起拱。吊顶周边应与墙体交接严紧并密封。
4.4.3 吊顶工程应在吊顶内各项隐藏工程验收、交接后施工。
4.4.4 吊顶内各种金属件均应进行防腐、防锈处理,预埋件和墙体、楼面衔接处均应作密封处理。
4.4.5 吊顶的吊挂件不得作为管线或设备的吊架,管线和设备的吊架不得吊挂吊顶。
4.4.6 轻质吊顶内部的检修马道应与主体结构连接,不得直接铺在吊顶龙骨上,不得在吊顶龙骨上行走和支撑重物。
4.4.7 吊顶饰面板板面缝隙允许偏差不应大于0.5mm,并应用密封胶密封。
4.4.8 吊顶内悬挂的有振源的设备,其吊挂方式应满足建筑结构和减振消声的相关规范要求。
4.5.1 地面与墙面的夹角应为曲率半径只不小于30mm的圆角。当用柔性材料粘贴地面时,在墙面上应延伸至地面以上形成圆角并与墙面平齐,或略缩进2mm~3mm,突出的墙面应圆滑过渡(图4.5.1)。需经常冲刷的地面,地面材料在墙面上延伸高度应大于150mm。
4.5.2 当地面与墙面的夹角用R不小于30mm的型材过渡形成圆角时,突出墙面、地面的两端处应用弹性材料逐渐过渡并嵌固密封。经常用液体处理地面和墙面的洁净室不宜采用此种形式(图4.5.2)。
4.5.3 洁净室内墙面阳角,宜做成圆角或大于等于120°的钝角。
4.6.1 门窗安装应符合下列规定:
1 门窗构造应平整简洁、不易积灰、容易清洁。
2 门窗表面应无划痕、碰伤,型材应无开焊断裂。
3 成品门、窗必须有合格证书或性能检验报告、开箱验收记录。
4.6.2 当单扇门宽度大于600mm时,门扇和门框的铰链不应少于3付。门窗框与墙体固定片间距不应大于600mm,框与墙体连接应牢固,缝隙内应用弹性材料嵌填饱满,表面应用密封胶均匀密封。
4.6.3 门框密封面上有密封条时,在门扇关闭后,密封条应处于压缩状态。
4.6.4 悬吊推拉门上部机动件箱体和滑槽内应清洁,门扇关闭时与墙体应无明显缝隙。
4.6.5 安全疏散门如设有关闭件,应安在方便打开的明显位置。安全门如为需要临时破开的结构,破门工具必须设于明显位置,并应牢靠放置、取用方便。
4.6.6 门上的把手如突出门面,不得有锐边、尖角,应圆滑过渡。
4.6.7 窗面应与其安装部位的表面齐平,当不能齐平时,窗台应采用斜坡、弧坡,边、角应为圆弧过渡。
4.6.8 窗玻璃应用密封胶固定、封严。如采用密封条密封,玻璃与密封条的接触应平整,密封条不得卷边、脱槽、缺口、断裂。
4.6.9 固定双层玻璃窗的玻璃应平整、牢固、不得松动,缝隙应密封。安装玻璃前应彻底擦净内表面和夹层空间。
4.6.10 双层玻璃窗的单面镀膜玻璃应设于双层窗最外层,双层或单层玻璃窗的镀膜玻璃,其膜面均应朝向室内。窗帘或百叶,不得安装在室内。
4.6.11 产生化学、放射、微生物等有害气溶胶或易燃、易爆场合的观察窗,应采用不易破碎爆裂的材料制作。
4.7.1 缝隙密封施工应符合下列规定:
1 密封界面应清理干净。
2 密封嵌缝材料应选择不含刺激性挥发物、耐老化、抗腐蚀的中性材料,用于表面的应加抑菌剂。
4.7.2 不同装饰材料相接处采用弹性材料密封时,应预留适当宽度和深度的槽口或缝隙。
4.7.3 密封胶嵌固前,应将待密封沟槽内的杂质、油污清除干净,并保持表面干燥。
4.7.4 有防霉要求的场合不应用玻璃胶、硅胶类密封胶,应用中性密封胶,并应在密封胶中加入抑菌剂。涉及半导体或有耐碱要求的场合不应用硅密封胶。
4.8.1 建筑装饰的分项验收应首先核对设计图纸和变更文件、检查原材料的出厂检验报告、质量合格保证文件和材料进场检验报告。
4.8.2 建筑装饰的分项验收应包括以下主控项目:
1 有防火、防腐、强度安全等要求的材料、构件、部件和处理方法均应严格符合设计要求。
检验方法:检查构件清单和检验报告。
检验数量:全部。
2 水磨石地面表面应无裂纹、砂眼和磨纹,石粒应均匀,颜色图案应一致,分格条应符合设计要求且横平竖直、嵌入牢固。
检验方法:观察检查。
检验数量:抽查30%面积。
3 水磨石面层表面子整度允许偏差应为2mm,缝格平直度允许偏差应为2mm。
检验方法:用2m靠尺和塞尺检查。
检验数量:抽查30%面积。
4 瓷板面层表面平整度允许偏差应为1mm。
检验方法:用2m靠尺和塞尺检查。
检验数量:抽查30%面积。
5 瓷板面层接缝高低的允许偏差应为0.5mm,接缝宽度的允许偏差应为1mm,接缝直线度的允许偏差应为2mm。
检验方法:用钢直尺、塞尺和拉5m线检查。
检验数量:抽查30%面积。
6 粘贴与涂布面层与下一层结合应牢固、无空鼓、无隆起、色泽均匀。
检验方法:观察检查,并用小木锤轻击检查。
检验数量:抽查30%面积。
7 粘贴面层表面平整度允许偏差应为1mm。板、块画层接缝高差的允许偏差应为0.5mm。
检验方法:用塞尺和2m靠尺(平整度)或钢尺(高差)检查。
检验数量:抽查30%面积。
8 架空地板的开孔率或格栅通风面积应符合设计要求。
检验方法:尺量和计算,并检查产品合格证。
检验数量:抽查30%面积。
9 架空地板表面平整度允许偏差应为1mm,接缝高差的允许偏差应为0.4mm,板块间隙的允许偏差应为0.3mm。
检验方法:用塞尺和2m靠尺(平整度)或钢尺(高差)检查。
检验数量:抽查30%面积,且不少于5m2。
10 架空地板支撑立杆与建筑地面的连接或粘结应牢固,金属杆应作防锈处理。
检验方法:观察和用小木锤敲击检查。
检验数量:抽查30%面积。
11 表面应平整,色泽应一致,漆(涂料)层应光滑、无反光现象。
检验方法:观察检查。
检验数量:全部。
12 各类墙面表面平整度允许偏差应为2mm,立面垂直度允许偏差应为2mm,阴阳角弧度允许偏差应为2°。
检验方法:尺寸偏差用塞尺和2m直尺,弧度用量角器。
检验数量:抽查30%面积。
13 隔墙骨架、基层板、面板的安装和粘贴应牢固,基层板与面板粘贴应无空鼓、脱层。
检验方法:轻敲、手扳、尺量。
检验数量:抽查30%面积。
14 墙面压条应平直、压紧。直线度的允许偏差应为2mm,压紧无可见空隙。
检验方法:拉线,用塞尺和直尺检查。
检验数量:抽查30%面积。
15 吊顶骨架材质、尺寸应符合设计要求,并经防腐、防锈处理。
检验方法:检查图纸,观察检查。
检验数量:抽查30%面积。
16 吊顶饰面板应无明显缺陷,特别应无踩踏痕迹。马道铺设应合理、可靠。
检验方法;观察检查。
检验数量:抽查30%面积。
17 吊顶饰面板表面平整度的允许偏差应为1.5mm,接缝高低的允许偏差应为0.3mm,接缝平直度允许偏差应为1.5mm。
检验方法:用2m直尺和塞尺检查平整度和接缝,用5m拉线和塞尺检查平直度。
检验数量:抽查30%面积。
18 踢脚板应符合设计要求。
19 门窗边框、副框与墙体之间的缝隙的允许偏差应为1mm,并应用密封胶均匀密封,装饰效果显著。
20 活动门扇不得刮地,开关应灵活。
21 玻璃夹层空间应清洁、玻璃表面应明亮。
检验方法:观察检查。
检验数量:抽查30%。
22门窗槽口对角线长度的允许偏差应为3mm,门窗横框水平度的允许偏差应为2mm,推拉自动门门梁导轨水平度的允许偏差应为1mm。
检验方法:对角线用钢尺检查,水平度用1m水平尺和塞尺检查。
检验数量:抽查30%。