工艺参数：生产设备布局图、发热量、排气量（需区分一般排气与有机废气）
环境要求：洁净度等级（动态/静态）、温湿度控制精度（±1℃/±5%RH）、压差梯度（5-20Pa）
建筑条件：原结构荷载（建议≥800kg/m²）、层高（需预留技术夹层≥1.2m）
动力参数：电力负荷（含UPS需求）、纯水/气体供给点位、废水处理要求
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