洁净室的检测主要是指测定洁净室或洁净区的空气洁净度等级等，生物洁净室还应进行浮游和沉积细菌的检测。工程建设过程中的检查主要包括工程竣工验收和洁净室综合性能评价两个阶段的检查：在洁净厂房使用过程中，应对洁净室或洁净区进行监测，以及应定期进行综合性能测试，对洁净室进行认证。房间或洁净区始终符合要求。
(1)洁净室的检测首先应明确洁净室或洁净区的占用状态。根据GB 50073-2001 《洁净厂房设计规 范》和ISO 14644标准的规定，洁净室的检测状态分为三种状态：空态、静态和动态。
空态检测设施已经建成，所有电源已接通并运行，但在生产设备、材料和生产人员不在场的情况下进行的检测称为空态检测。
静态试验设施已经建成，生产设备已安装，并按供需双方约定的方式运行，但生产人员不在场的试验称为静态试验。
动态测试设施按规定的方式运行，有规定的人员在场，按双方约定的工作方式进行的测试称为动态测试。
(2)洁净室的检查可分为洁净室工程竣工验收检查、综合性能评价检查、运行过程中的监控和定期综合性能检查。前两项检测要求已在第8章中进行了说明，运行中的洁净室或洁净区的监控和定期的综合性能认证检测尚未引起有关方面的重视。
《洁净厂房设计规植》 GB 50073-2001附录C规定了“洁净室或洁净区性能试验和认证”的要求，目的是对洁净室（区）进行监测，定期进行综合性能试验，以证明洁净室
（区）始终满足设计要求，确保本厂产品生产环填料满足晶体生产质量要求，实现产品质量和产量的稳定，创造较好的经济效益。
(3)施工单位最关心的是运行状态下洁净室的空气洁净度等级，即生产设备运行、作业人员在场时的检测结果，即动态检测结果。另一方面，构建者通常希望在空状态下测试结果作为工程竣工验收。
我国《洁净室施工及验收规范》（JGJ 71-90）中明确规定竣工验收的检查和调整应在空车状态或静止状态下进行，综合性能评价的检查状态应由施工单位、设计单位、施工单位。主要原因是洁净室的动态检测一般超出洁净室施工单位的控制范围，空态或静态作为检测头盔更能及时客观地评价工程质量。《洁净室施工及验收规范》还明确规定，工程竣工验收和综合性能评价主要由建设单位负责，设计、施工单位予以配合。前阶段主要检查施工质量，后期不仅要看施工质量，还要看综合性能是否达到设计要求。
